台积电申请半导体装置结构及其形成方法专利提供半导体装置结构及其形成方法雷火竞技

　　雷火竞技雷火竞技雷火竞技雷火竞技专利摘要显示，提供半导体装置结构及其形成方法。半导体装置结构包括第一组半导体层与第一栅极电极层。第一组半导体层设置在基板之上，包括多个垂直排列的第一半导体层半导体。第一栅极电极层围绕第一组半导体层中的每个第一半导体层雷火竞技。第一栅极电极层包括设置在相邻第一半导体层之间的一或多个第一功函数金属层、以及设置于第一功函数金属层的两侧上的二个第一导电层半导体。第一导电层包括不同于第一功函数金属层的材料。第一栅极电极层更包括设置于第一导电层上的第二导电层，且第二导电层与第一导电层包括相同的材料雷火竞技。