半导体产业链上,前道检测设备属于上游产业,是目前我国发展速度较快的高新产业。前道检测设备主要用于晶圆加工环节,目的是检查每一步制造工艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求或者存在影响良率的缺陷,属于物理性的检测。前道量检测设备约占晶圆厂设备投资成本10%。
随着工艺不断进步,芯片结构越来越复杂,制程步骤也将越来越多半导体设备,为了获取尽量高的晶圆良品率,在未来的半导体制造过程中,晶圆厂对于前道检测设备的要求也将进一步提升,这为本土前道检测设备的国产替代和产品更新迭代提出更高要求。
当下,前道检测设备常年被国外先进厂商垄断雷火竞技,但是在国家政策支持和市场利好的加持下,涌现出一批以上海精测、睿励仪器为代表的前道检测设备生产商异军突起。这些企业产品可靠雷火竞技雷火竞技、技术先进、发展迅猛逐渐将成为半导体设备行业中流砥柱。
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