获TOPCon441亿工艺整线雷火竞技订单CVD打开半导体业务成长空间

　　微导纳米于2023年6月13日发布公告：公司近日与浙江国康新能源科技有限公司签署了TOPCon电池设备销售合同，合同金额总计约为人民币4.41亿元（含税）雷火竞技。

　　光伏：ALD持续领先，在手订单充沛本次公司和国康爱康签订的TOPCon电池设备，包括但不限于ALD设备、PEALD雷火竞技设备、PECVD设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备从2023年6月30日开始交付半导体。该合同的签订标志着公司客户拓展和TOPCon电池工艺整线设备获得了突破性的进展。

　　公司光伏设备订单随着TOPCon的快速扩产大幅增加雷火竞技，为公司的业绩增长奠定坚实基础。截止2022年12月底，公司在手专用设备订单22.93亿元，其中光伏设备订单19.67亿元，半导体设备订单2.57亿元，其他设备订单6,881万元。2023年1月初至2023年4月24日，公司新增专用设备订单22.74亿元，其中新增半导体设备订单2.42亿元，新增光伏设备订单20.16亿元，新增其他设备订单1,580万元。

　　公司是国内首家将High-k的ALD工艺成功量产并应用于28nm节点前道生产线的国产设备公司，并已获得客户重复订单认可，填补了我国在该项半导体设备上的空白。此外，公司2022年推出的应用于逻辑芯片、传统和雷火竞技新型存储芯片、CMOS芯片、MEMS等领域的多款ALD设备也取得了客户订单。

　　iTronix系列CVD系统，是公司新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料，部分产品已经发往客户处进行试样验证。根据SEMI行业统计，半导体薄膜技术领域，ALD约占镀膜板块的11%市场份额，CVD约占镀膜板块的57%市场份额，市场空间广阔。公司以硬掩模工艺为切入点，解决关键工艺卡脖子问题，通过差异化策略开发CVD领域的关键设备。

　　我们预测公司2023-2025年营业收入分别为18.57/31.81/44.12亿元，归母净利润分别为1.76/3.80/5.83亿元，以当前总股本4.54亿股计算的摊薄EPS为0.39/0.84/1.28元。公司当前股价对2023-2025年预测EPS的PE倍数分别为140/65/42倍，考虑到公司在ALD领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性，保持“增持”评级。