主要技术指标: 可配工艺管外径:2-8英寸 可配工艺管数量:1-4管/台 工作温度范围:400-1286℃ 恒温区长度及精度:300-1100mm 800-1286℃0.5℃ 单点温度稳定性:800-1286℃0.5℃/24h 最大可控升温...
■ 主要技术指标 ◆常用工作温度:300~1000℃ ◆使用温度:0~1200 ◆恒温区精度:1℃ ◆恒温区长度:600mm ◆升温功率:10KVA ◆保温功率:5KVA ◆开机重复性:1℃ ◆冷态线Pa ◆...
■主要技术指标 ◆结构型式:立式,(可旋转移动) ◆适合2~6 晶体生长工艺(可定制) ◆炉体有效加热长度:1200mm ◆最高工作温度:1300℃ ◆恒温区精度(静态闭管):0.5℃ ◆升温...
■主要技术指标 ◆结构型式:立式,(可旋转移动) ◆适合2~6 晶体生长工艺(可定制) ◆炉体有效加热长度:1200min ◆最高工作温度:1300℃ ◆恒温区精度(静态闭管):0.5℃ ◆升温...
■ 主要技术指标 ◆ 结构型式:单管水平式,加热炉体可左右移动 ◆ 适合2~3晶体生长工艺(可定制) ◆ 炉体有效加热长度:1600mm ◆ 最高工作温度: 1300℃ ◆ 升温速率(室温~126...
■ 设备优势 ◆ 温度控制:采用进口稳定可靠的智能仪表,能够实现整个工艺过程的自动精确控温。 ◆ 生长材料定位系统:以进口直线电机为主体,系统定位精确且无抖动,加速度大...
主要特点: 立式连续制备 工艺管:大口径石墨管 碳纳米管设备碳源:雾状喷洒,单头/多头 加热方式:立式多层加热器 设备不间断长期运行,特殊的省电设计和特点设计 立式长工艺管...
主要参数(可按需求定制) 工艺管径:60mm 工作温度:1020-1050℃ 恒温区:120mm 线Pa 真空恒压:手动/自动 碳源气体:甲烷CH 4 其他气体:氢气、氮气...
主要特点: 石墨烯薄膜产业化设备 宽幅卷对卷连续生长 APC系统;真空蝶阀自动控制 碳源等工艺气体MFC控制 薄膜制备过程全自动控制 三腔室结构 主要参数: 工作温度:1020-1050℃ 恒温...
主要特点: 石墨烯薄膜晶圆生长产业化设备 APC系统;真空蝶阀自动控制 碳源等工艺气体MFC控制 快速冷却功能 薄膜制备过程全自动控制 片舟方式 主要参数(可按需求定制): 腔室直...
该设备主要用于纳米材料工艺涂层、多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。 ■ 设备系统简介 ◆ 结构型式:卧式,单管或多管系统自动控制 ◆ 适应晶体尺寸:2-8 ◆ 送取片方式...
主要特点: 产能:1200片/管 管数:5管 系统控制:PLC和PC控制基础 通讯:Melsec, MES, I/O, SECS-II等 自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案 硬件规格: 恒温区长度:...
主要特点: 产能:最大1200片/管 管数:5管 压力控制:PLC和PC工控机 通讯:Melsec, MES, I/O, SECS-II等 自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案 工艺规范: 方阻值:50...
◆ 用工控机对工艺时间雷火竞技,温度半导体,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制。 ◆ 采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高。 ◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件雷火竞技、阀门,确保气...
◆ 闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,工艺废气集中收集从尾部定向排出;工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环...
人数:4人 专业:电气自动化、机电一体化(电气类) 学历:本科以上;...
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