国内首款量产型12英寸高精度全自动探针台,适用于8~12英寸集成电路及功率器件等芯片的测试
适用于5~8英寸集成电路晶圆的自动探针测试半导体半导体设备。整机特别针对集成电路多芯多探针及高定位精度的测试需求进行设计,可以满足1000根探针以下的单芯或多芯测试,配备全自动上下片系统雷火竞技,具有高精度、高刚性,雷火竞技高稳定性的特点。自动对针提高了对准精度,方便客户多针、多芯测试需要
适用于4~8英寸半导体集成电路、分立器件晶圆的全自动探针测试。配备有高可靠性自动上下片系统,高精度CCD视觉定位系统,雷火竞技自动化程度高雷火竞技。更具有薄片传输能力,应用面广,尤其满足大功率分立器件(IGBT、MOSFET)测试雷火竞技
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