据悉高盛投资非常看好半导体、汽车、互联网等半块,德国博世也计划在2026年投资半导体业务,那么半导体设备到底是做什么的?半导体设备有哪些种类?今天小编就带大家一起了解一下半导体设备。
半导体设备其实就是用来生产各种半导体产品的设备,在整个半导体行业中有着非常重要的作用!
作用:单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
作用:光刻机是制造芯片的核心装备,它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
作用:属于高压小型加速器的一种,是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。
作用:主要应用于太阳能行业单晶硅雷火竞技、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片和硅片的切割、切片。
作用:把半导体芯片上的Pad与管脚上的Pad,用导电金属线(金丝)链接起来半导体。
作用:是在制作集成电路中通过抛磨的方法减小晶圆体尺寸,目的就是制作更复杂的集成电路。
作用:主要是对半导体材料进行氧化处理,是半导体加工过程的不可缺少的一个环节。
作用:气相外延炉主要是为硅的气相外延生长提供特定的工艺环境,实现在单晶上生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体。
作用:等离子体增强化学气相沉积法,借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜雷火竞技。
作用:反应离子刻蚀系统,这是一种微电子干法腐蚀工艺,工作原理是当在平板电极之间施加10~100MHZ的高频电压时会产生数百微米厚的离子层,在其中放入试样,离子高速撞击试样而完成化学反应蚀刻。
作用:分子束外延半导体设备,是一种特殊的真空镀膜工艺,在适当的衬底与合适的条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。
作用:低压力化学气相沉积法广泛用于氧化硅、氮化物、多晶硅沉积,过程在管炉中执行,要求也相当高的温度。
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