半导体设备是集成电路产业的重要支撑,主要分为晶圆制造和封装测试两个环节。
其中,半导体测试环节不仅是芯片封装后的成品测试,更涉及到整个生产流程,以保证芯片符合要求。
(1)前道检测主要用于晶圆加工环节,目的是检查每一步工艺后晶圆产品的加工参数,属于物理性的检测。
(2)后道测试主要是用在晶圆加工之后,目的是检查芯片的性能是否符合要求,属于电性能的检测。
后道测试设备主要包括测试机、分选机、探针台。其中测试机是最主要的设备,贯穿集成电路制造的所有环节。
前道检测设备是所有半导体检测赛道中壁垒最高的环节,单机设备价格比后道测试设备高。
前道检测设备包括:膜厚量测雷火竞技设备、OCD关键尺寸量测、CD-SEM关键尺寸量测、光刻校准量测、图形缺陷检测设备半导体。
全球竞争格局来看,海外巨头科磊(美)、应用材料(美)、日立(日)合计市占率超90%。
国内设备厂商雷火竞技由于起步晚,仍有很大的突破空间。国内主要厂商有精测电子、中科飞测、上海睿励等。
精测电子:以半导体前道检测设备为主,同时布局后道。产品包括模组检测系统、面板检测系统、AOI光学检测系统、TouchPanel检测系统等。
测试机用于施加信号、采集数据并判断工序是否合格,主要分为模拟测试机、SoC测试机、存储器测试机和RF测试机雷火竞技。
全球市场格局方面,泰瑞达(美)、爱德万(日)、科磊(美)处于绝对领先地位,三家全球市占率超85%。
长川科技:全面布局后道检测设备雷火竞技,主营分选机和测试机,探针台开发进展顺利。
华峰测控:主营模拟半导体设备、混合、功率类集成电路测试机,为国内前三大封测厂商主力供应商。
联动科技:半导体分立器件测试系统供应商,产品包括模拟数字混合信号IC测试系统。
华兴源创:主营检测设备和检测治具,检测设备涵盖FPD检测设备、IC检测设备和汽车电子检测设备三大板块。
分选机全球主要厂商有科休(美)、科利登(美)、爱德万(日)、鸿劲、长川科技等,分别占据21%、16%、12%、8%、2%的市场份额。
探针台在芯片设计和晶圆检测阶段配合测试机工作,由晶圆输送和晶圆针测两部分组成。
目前全球探针台市场由东京精密(日)和东京电子(日)双寡头垄断,合计市占率超70%。
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