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Lam Research — 半导体雷火竞技五大设备当中最低调的公司

发布日期:2023-04-15 12:11 浏览次数:

  Lam RESEARCH(柯林研发)由美国香港人David Lam于1984年创立。Lam 可以理解为大陆林姓衍生出来的公司。(林在闽南语即为Lam的意思,Lam源于华人)

  当时业界正处于2inch的机台到3inch的过渡阶段,各家公司也在全力研究64k的dram,要突破64k的制程需要先进的等离子蚀刻来进行,而半导体业界专注于半导体设备的公司不多,因此为David Lam 创造了极佳的机会。

  当时美国国会也刚好通过了降低资本税的法条,让美国风险投资产业热络起来,凭着Lam多年在半导体界的销售和管理经验,Lam的等离子蚀刻计量很快就吸引到800,000美元风险投资的融资。

  Lam的等离子蚀刻专注于污染控制和可再生环境以及自动化装置,Lam以多晶矽作为主要业务,推出公司第一台产品AutoEtch 480,Lam获得了极大的成功,并于1984年在纳斯达克上市,代号LRCX。

  1985年David Lam出售价值2000万美元的股票离开了公司,Lam在david离开后通过专注于技术创新、全球扩张、市场定位和客户服务,在半导体界站稳了步伐,并且也扩大产品开始踏入成绩设备领域。

  自1980年代起,日本半导体技术和市场突飞猛进,日本市场和美国市场几乎各占半导体市场的一半份额,Lam也开始和日本公司合作。

  在1987年也跟在日本住友金属工业株式会社建立了合作伙伴关系,加强联合研究和销售自己公司产品,Rainbow 4400刻蚀方面的技术和产品。

  自1980年代晚期,台湾晶圆代和韩国dram产业开始发展,Lam也进军日本以外的亚洲市场,并在欧洲、美国和日本开设客户支援中心。

  在1990年Lam的公司营收达到了1.44亿美元,其中44%来自海外市场。

  在90年代美国半导体产业复苏,亚洲台湾韩国半导体产业蓬勃发展,员工增加到1500人工厂扩大到原先的10倍雷火竞技。

  Lam在1990年推出integrity CVD系统,可以将多个制造步骤集成到一个过程中,进而减少了生产时间和成本,该产品获得美国研发杂志的最佳奖项,也在1992年推出首款专利变压器耦合等离子(TCP)技术的产品TCP 9400多晶矽蚀刻系统。

  这个系统采用了先进的等离子蚀刻技术雷火竞技,有望实现更高的生产效率、晶片品质和晶片均匀性,这些产品让Lam在1993年的销售额增长了55%达到了惊人的2.65亿美元,净利润达1900万美元,公司也坐稳蚀刻设备商霸主,成为四大半导体设备商之一。

  Lam在进入亚洲市场后,于1997年发生了亚洲金融风暴,半导体市场又开始萎缩,不过Lam仍尚未放弃,Lam在1997年并购一家从事化学机械平坦化(CMP)清洁的设备商OnTrak Systems Inc并以cmp和蚀刻重新作为主力发展。

  自2000年代开始,Lam又再次开始发展沉积设备,推出VECTOR PECVD能够制造介电层薄膜沉积制程,能让介电层薄膜非常平滑且无缺陷,能以较低的成本提供与新系统相同的品质保证与效能。

  Lam通过收购Novellus Systems这家以创新薄膜沉积和表面处理生产线为业务的设备商半导体,Lam将拥有更多优势来支援半导体工业的关键技术转换,包括先进逻辑和NAND记忆股的3D架构,以及450毫米(mm)晶圆的微缩技术。

  Lam也积极与asml合作,目前先进制程euv是不可或缺的机台,但euv在曝光时,会有些叠对效应造成边缘放置误差等问题。

  Lam利用开发微影、蚀刻和沉积的协同最佳化技术去与asml合作硬式罩幕沉积制程,能把随机效应造成的局部放置误差降至最低。

  截至雷火竞技目前,在超过1亿片采用多重曝光技术(multi- patterning)的晶圆中,有95%是以Lam的设备来制作的,Lam的制作营收,海外营收超过90%,2021Q2财报数据显示以中国的35%居首位,台湾则以17%排名第三,亚洲国家就占了总销售的93%,显示出亚洲半导体市场仍为Lam的营收主力。

  最后,泛林集团(Lam Research)是一家半导体设备供应商,将支持全球数字化转型。此外,该公司在向股东返还自由现金方面有着良好的记录。在2021年第四季度,他们以回购和股息的形式向股东返还了惊人的94%的自由现金流,这不是你经常从大型半导体公司听到的。

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