半导体设备国产化进行时：上海精测雷火竞技两设备出货中芯国际

　　7月13日，上海精测半导体技术有限公司（下称“上海精测”）通过微信公众号宣布，国内首台12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（ReviewSEM）顺利出机。

　　上海精测母公司精测电子（300567.SZ）同日披露的调研纪要显示，上述两台半导体设备的客户为中芯国际。“设备是已经可以投入使用了”，精测电子内部人士今日对《科创板日报》记者表示。

　　据了解，OCD设备除具有全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查（ADI）、刻蚀后检查（AEI）等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度（SWA）、高度/深度等关键尺寸（CD）特征或整体形貌测量，具有高速、准确和非破坏性等特点，是半导体前道检测的关键设备之一雷火竞技。

　　精测电子副总经理、上海精测总经理马骏在出机仪式上介绍，OCD量测设备的市场一直为美资公司垄断，上海精测本次出货机台名称为300FDProfile，是该类型机台的国内首台，主要应用于55nm及以下的快速线宽测量。

　　而ReviewSEM则是上海精测的另一重要设备产品，该设备的交付也使得公司成为目前全球成功开发该设备的唯一非美系厂商。

　　据媒体报道半导体设备，上海精测此次交付的两台前道量测检测设备，该设备从零部件到整机设计制造，均具有完全自主知识产权。中芯国际（北京）良率提升工程部总监翟冬梅对此表示雷火竞技，“填补了国内半导体产业链在该领域的空白”。

　　上海精测成立于2018年，主要聚焦半导体前道检测设备领域，公司现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。

　　在客户导入方面，上述调研纪要透露，目前，上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已取得订单并已实现交付，半导体电子束检测设备eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

　　“公司之前也披露过有哪些客户，比如有长江存储、广州粤芯等，部分产品已经出货了”，精测电子内部人士讲到。

　　由于半导体设备研发投入大，同时产品验证周期长，上海精测2020年实现营收5674万元，但亏损9688万元。

　　天眼查显示，精测电子持有上海精测40%股权，另外精测电子的孙公司上海精圆管理咨询合伙企业（有限合伙）持有上海精测13.3%的股权。国家大基金持有13.33%的股权，上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业持有6.67%的股权，后者的股权结构中，国家大基金和国产半导体离子注入机厂商万业企业各持股近20%。

　　此外，为进一步推动上海精测发展，扩大生产能力，以满足下游需求，精测电子于今年4月完成定增，共募资14.93亿元，其中拟投入7.4亿元的募集资金用于上海精测研发及产业化建设项目。

　　对于精测电子而言，公司除了在半导体检测前道领域布局外，其同时也在后道全领域的布局，包括与韩国IT&T合资设立的武汉精鸿主要聚焦自动检测设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备）、另外公司的子公司WINTEST以及其在武汉的全资子公司伟恩测试现阶段主要聚焦驱动芯片测试设备领域。

　　精测电子在调研纪要中称，公司预计2021年在半导体的部分产品线实现扭亏，但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。

　　“公司半导体业务已经形成独立的业务板块，但其对营收和业绩的贡献还是没有面板业务贡献大，公司这两年的战略规划也是希望半导体板块尽快扭亏为盈，使其形成对业绩的贡献”，公司内部人士进一步向记者表示。雷火竞技